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第47巻(1999) >

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タイトル: ジメチルヒドラジン(DMHy)を用いたGaAs基板の窒化処理
その他のタイトル: Nitridation of GaAs Substrate by Dimethylhydrazine(DMHy)
Nitridation of GaAs Substrate by Dimethylhydrazine(DMHy)
著者: 望月, 孝則
胡桃, 洋一
山本, 暠勇
橋本, 明弘
MOCHIZUKI, Takanori
KURUM, Youichi
YAMAMOTO, Akio
HASHIMOTO, Akihiro
キーワード: Nitridation
Dimethylhydrazine (DMHy)
GaN
発行日: 3月-1999
掲載誌: 福井大学工学部研究報告
巻: 47
号: 1
資料タイプ: Departmental Bulletin Paper
URI: http://hdl.handle.net/10098/3367
ISSN: 04298373
出現コレクション:第47巻(1999)

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