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タイトル: A new method for detecting vacuum leakage of a pressure sensor using a pulse discharge technique
著者: UEDA, M
KAGAWA, K
SUGINO, Y
MORIYA, K
J CHEN
MATSUI, T
発行日: 2月-1997
出版者: Iop Publishing Ltd
掲載誌: Journal of Physics -London- d Applied Physics
巻: 30
資料タイプ: Journal Article
引用: Journal of Physics -London- d Applied Physics, 30, 1997, p.703-707
URI: http://hdl.handle.net/10098/1453
ISSN: 00223727
出現コレクション:01 雑誌等掲載論文

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