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タイトル: A precise method for detection of vacuum leakage in a pressure sensor using a pulse discharge technique, for industrial use
著者: UEDA, M
SUGINO, Y
KAGAWA, K
MATSUI, T
発行日: 6月-1998
出版者: Iop Publishing Ltd
掲載誌: Journal of Physics -London- d Applied Physics
巻: 31
号: 12
資料タイプ: Journal Article
引用: Journal of Physics -London- d Applied Physics, 31(12), 1998, p.1465-1470
URI: http://hdl.handle.net/10098/1450
ISSN: 00223727
出現コレクション:01 雑誌等掲載論文

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